大约10年前，欧盟出台了限制铅、水银等6种有害材料使用的法案，在电子产业界掀起了轩然大波。最近欧盟开始了RoHS法案的修改议程，曾经拥有豁免权的电子电气设备和半导体光伏制造设备面临新一轮考验。SEMIRoHS工作组正积极与欧盟相关部门沟通，力争避免检测与控制设备、相关零部件等被列入RoHS法案的这一最坏可能性。
